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    GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺

    GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺

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    GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺主要應用于I-V/C-V,PIV測試,傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電子樣品測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本,可以配合Keithley,Tektronix等國內外各種源表對材料進行測試,可以做材料的介電,鐵電等測試,是目前高等院校和研究所及材料生產單位的重要輔助設備。

    GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺的詳細資料:

    GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺

     

    關鍵詞:高低溫探針臺,半導體,光電,吉時利

    探針臺.png

     

    GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺主要應用于I-V/C-V,PIV測試,傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電子樣品測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本,可以配合Keithley,Tektronix等國內外各種源表對材料進行測試,可以做材料的介電,鐵電等測試,是目前高等院校和研究所及材料生產單位的重要輔助設備。

      GDWT-480型自動型真空高低溫探針臺該探針臺尺寸高達59x59MM,不銹鋼臺面設計,可以達到高溫350℃。在真空方面采用真空腔體設計,具備進氣口和抽真空接口,三軸移動探針臂保證X/Y/Z三個方向均可在真空環境下精密移位調節,用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測.

    主要特點:

    1、溫度可以從-190-350

    2、探針不需要打算開觀察窗口,可以通過X/Y/Z三軸移動調節探針,

    3、可以配真空,氣氛等多種功能。

    4、三軸調節范圍:其中X方向0-28mm;y方向調節范圍:0-18mm;z方向調節范圍:0-18mm;

    主要技術參數:

     

    真空腔體

    內腔尺寸

    φ160x90mm標準 

    觀察窗尺寸

    Φ70mm 

    樣品臺尺寸

    Φ60mm

    觀察窗熱臺間距

    74mm

    加熱臺溫度

    -190-350℃

    加熱臺溫控精度

    ±1℃

    真空度

    機械泵≤10Pa   分子泵≤10-5Pa

    電信號接頭

    SMA轉BNC X 4

    電學性能

    絕緣電阻 ≥4000MΩ  介質耐壓 ≤500V

    探針數量

    4探針

    探針材質

    鎢針  

    探針尖

    10μm其他多種可選0.5微米/1微米/2微米/5微米//20微米

    制冷

    液氮/液氦/制冷機

    探針移動平臺

    X-Y-Z移動行程

    30mm*25mm *25mm    

    結構

    真空波紋管結構,精密三軸控制探針

    精度

    ≤0.01mm 

    漏電精度

    10pA,100fA,10fA

    接頭類型

    BNC/三軸/鱷魚夾/香蕉頭/接線端子

    頻率支持

    DC-67GHZ

    針尖直徑

    0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

    電子顯微鏡

    顯微鏡類別

    物鏡(可以選配)

    物鏡倍數

    0.6-5.0(可以根據客戶要求進行選配)

    工作間距

    85mm

    相機

    sony 高清

    像素

    200萬/500萬/1200萬

    圖像接口

    VGA

    LED可調光源

    顯示屏

    9

    放大倍數

    19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

    可選附件

    光學平臺


    屏蔽箱


    光電測試配件


    高壓測試配件


    激光系統


    氣敏測試系統


     



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